www.innovation-marketing.atMEMS (mikro-elektromechanische Systeme)
 

Begriff und Erklärung
Begriff:
MEMS (mikro-elektromechanische Systeme)
Erklärung:
In Halbleitermaterial ausgeführte, miniaturisierte elektrische und mechanische Sensoren oder Bauteile wie Pumpen, Ventile und Ähnliches.

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